真空吸附的含义是指把真空泵抽气口通过吸盘、管子等元件与待吸附物体连接，此时吸盘类似密闭容器，对吸盘抽真空，造成内部气压由常压变为负压，利用外界大气压和这个负压之间的压差作用，达到吸附住物体的目的。
当需要释放被吸住的物体时，首先必须使泵停机，不要继续抽真空。泵停机后，物体不一定会立即脱落，因为泵都有一定的保压能力，真空还将继续维持一会儿。要想立即释放，气路系统应再增加一条支路，连接一开关阀，泵停机并同时打开阀门，立即消除气路系统真空，这样才能可靠地释放物体。
注意事项
1.负压相同下，流量大的微型真空泵，比流量小的实际抽吸力要强(因为补充的快，对系统来说，维持这个负压的能力就强)。比如VCA5038的峰值流量为38L/MIN，和PCF5015的15L/MIN相比，虽然负压一样，但实际吸附力要强于PCF5015N。
2.以上吸附重量都是指垂直向上吸附的情况(即泵的抽吸力向上，对抗物体向下的重力);而垂直向下吸附及侧面吸附要复杂得多，因为涉及到接触面摩擦系数不同和受力情况不同等因素影响，甚至还有吸附后要移动等问题，就不能简单依据上表进行选择了。
